图5.13ISO 隔离电流湿法台面腐蚀，实验条件不受限制，操作简单，缺点是图形不是很完整。但是在InAs／AlSbHEMT 器件制造中，湿法腐蚀实现台面隔离是可行的。一是台面图形不需要很精细，只是实现电学隔离，湿法腐蚀的横向腐蚀是不会影响HEMT 器件的制造性能。沟道边缘的腐蚀是必须的，如果沟道边缘不腐蚀，则后面淀积栅金属时就会出现栅金属和沟道连接的情况，这样HEMT 器件漏电流会很大，器件性能恶化。...
2023-06-21 理论教育
Sb基高电子迁移率晶体管
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TLM模型的特点及应用场景介绍详细阅读
旗袍是中国传统服装文化的经典，它拥有浓厚的民族特点和丰富的艺术语言。旗袍的美主要体现在造型、色彩、纹样、材质等元素中。这种含蓄的曲线充分显示了女性自然的美，同时也非常符合东方女性的体型；其次，旗袍造型的变化，主要是襟形、袖式和领型等的变化。女性一般可针对自己的脸型、身材来挑选旗袍的襟形。图4-2-7如意襟旗袍图5.6TLM 电流分布示意图...
2023-06-21 理论教育
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合金结热处理及电阻性能影响分析详细阅读
合金结是必须要热处理，热处理的作用是为了形成线性的欧姆行为，这种结成为合金结。Ge到Au原子比固定在12%，这个比率的AuGe是共熔合金，在热蒸发过程中是稳定的。合金欧姆结电阻受退火条件影响很大。在250℃退火时，接触电阻值是0.46Ω·mm，表中显示比较合适的合金退火温度是300℃。表5.1Au／Ge／Ni／Au在不同退火温度下接触电阻值图4-2-16长袖、中袖旗袍...
2023-06-21 理论教育
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合金Au/Ge/Ni/Au的欧姆阻值随着温度变化的研究详细阅读
合金温度大于300℃时，合金体系Au／Ge／Ni／Au 的阻值有增大的趋势。图5.7欧姆接触退火显微镜照片图5.8250 ℃退火测量TLM 值图5.9不同退火温度下Rc值为了得到低的欧姆阻值，需要确定合适的退火温度。图5.8是250℃时测量的TLM的阻值，根据前面的TLM 的原理，先进拟合曲线。拟合曲线斜率是4.78，截距是5.43，则可以得出Rsh是477.96Ω／Sh，Rc是0.27Ω·mm，ρc=1.542×10-6 Ω·cm2。在400℃退火时电阻Rc=0.82Ω·mm，Rsheet=540Ω／Sh。...
2023-06-21 理论教育