LED外延片的作用及选购要点

2023-06-15 历史故事版权反馈

【摘要】：目前LED外延片生长技术主要采用金属有机物化学气相沉积的方法。近年来，下游应用市场的繁荣带动我国LED产业迅猛发展，外延片市场也迎来发展良机。国内LED外延片产能快速提升，技术水平不断进步，产品已开始进入中高档次。不同的衬底材料，需要不同的LED外延片生长技术、芯片加工技术和器件封装技术。LED外延片衬底材料的选择原则如下：1）结构特性好。

LED外延片是指当在一块加热至适当温度的衬底基片（主要有蓝宝石、SiC、Si等）上，气态物质In、Ga、A1、P有控制地输送到衬衣表面，所生长出的特定单晶薄膜。目前LED外延片生长技术主要采用金属有机物化学气相沉积的方法。

外延片处于LED产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。近年来，下游应用市场的繁荣带动我国LED产业迅猛发展，外延片市场也迎来发展良机。国内LED外延片产能快速提升，技术水平不断进步，产品已开始进入中高档次。不同的衬底材料，需要不同的LED外延片生长技术、芯片加工技术和器件封装技术。衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线。

LED外延片衬底材料的选择原则如下：

1）结构特性好。外延材料与衬底的晶体结构相同或相近，晶格常数失配度小，结晶性能好，缺陷密度小。

2）界面特性好。有利于外延材料成核且黏附性强。

3）化学稳定性好。在外延生长的温度和气氛中不容易分解和腐蚀。

4）热学性能好。导热性好，热失配度小。

5）导电性好。能制成上下结构。

6）光学性能好。器件所发出的光被衬底吸收小。

7）力学性能好。器件容易加工，包括减薄、抛光和切割等。

8）性价比高。

9）大尺寸。一般要求直径不小于2in^[1]①。

10）容易得到规则形状衬底（除非有其他特殊要求），与外延设备托盘孔相似的衬底形状才不容易形成不规则涡流。

11）在不影响外延质量的前提下，衬底的可加工性尽量满足后续芯片和封装加工工艺要求。