特殊的封装环境某些MEMS器件的工作环境是气体、液体或透光的环境,MEMS封装必须构成稳定的环境,并能使气体、液体稳定流动,使光纤输入低损耗。低应力在MEMS器件中,具有微米/纳米级尺寸的部件精度要求高,但结构脆弱易断裂,因此封装所产生的应力应尽可能小。近年来,随着科学技术的发展,在MEMS封装中已广泛采用喷印工艺[23],这种工艺无需掩膜,经济有效,不涉及湿法工艺。......
2023-06-15
前面几小节中阐述的散热机理表明LED封装技术的发展侧重于大幅度降低器件的热阻,热阻已经从带引脚器件的约250K/W降至“有引脚”器件的约15K/W,而“无引脚”器件的热阻甚至小于10K/W或5K/W[ARI 02]。为了获得这么低的热阻,LED制造商需要在以下几方面作出努力。
1.互连
芯片和器件内的互连得到优化以降低电阻,并且由于以下几点原因限制了发热:芯片内部电阻互连的减少,金丝及其横截面数量的增加,外部连接引脚数量的增加,连接引脚使用了金或铜等低电阻率且高热导率的材料。密封材料的部分物理性质列于5.7.1节的表格中。
2.支撑上使用的粘合材料
在少数情况下,器件可用纯金属热分界面材料(例如铟)或聚合物(例如导热脂,为了增强导热性,里面填充了无机微粒或金属微粒)机械地安装在支撑上。大多数情况下,粘合材料为导热胶或金属焊料合金。聚合物基导热胶的种类繁多,一般为环氧树脂,也可以是硅树脂或丙烯酸树脂等。此外,导热胶中还添加了无机(AlN、SiC、BN)或金属(银、镍等)填充物。添加无机填充物时,粘合剂必须严格是导热的;而添加的金属装料必须是导电并且导热的。按照当前的工艺水平,添加了无机物的普通粘合剂最大导热率为几W/m·K,而金属填充粘合剂的最大热导率已达几十W/m·K。这些最新的环氧树脂材料添加了微米和纳米大小的银微粒,其热导率达30W/m·K,这对粘合剂而言是相当高的[EPO 07]。未来将出现填充纳米碳管或金刚石的粘合剂,其导热性更好[ZWE 06]。关于各种粘合剂的更详细内容可参考文献[LIC 05、LIU 93]。我们还注意到银基粘合剂具有非常高的反射功率,非常有利于光输出。至于焊料合金,它们的热导率通常更高,一般为30~60W/m·K(见5.7.1节)。在用于支撑连接的焊料合金中,最常用的是金锡合金,与用于将器件安装于母板的常规标准无铅合金(锡银、锡银铜等)相比,金锡合金的导热性能优良且熔点更高。此外,在某些条件下,金锡合金可不使用助焊剂,降低了芯片安装时的污染风险。焊接时,通常用薄层沉积技术将合金以晶片级沉积于芯片的背面(见5.2.2节)。
3.衬底材料
对于带有金属基座的“有引脚”器件,目前铜使用得最为频繁,因为它是迄今为止热导率最高的金属(约400W/m·K)。金和银同样有相当高的热导率,但成本过高且机械强度差于铜。由于成本的原因,铝也被广泛使用,即使它的热导率要低一些。
对于“无引脚”器件,用得最频繁的陶瓷材料为氧化铝,虽然它的导热性不佳,但是它在电子学(尤其是功率电子)领域得到广泛应用且成本适中。AlN的热导率一般比氧化铝大5~10倍,但因成本较高而应用较少。随着LED市场的发展,广泛用于DBC衬底的AlN将很有可能取代氧化铝成为功率电子领域应用最广泛的陶瓷材料。多种陶瓷如氧化铍(BeO)、立方氮化硼(CBN)或金刚石都具有非常出色的导热性,但它们的应用仍受制于成本。
与金属不同,陶瓷的CTE较低,接近于构成二极管的半导体(例如GaN)和生长衬底(蓝宝石),这对于尺寸为350×350μm2~2×2mm2的超高亮度LED封装来说十分关键。最后,合成材料如铜钼和Al-SiC等实现了CTE和热导率间的折中。
随着LED功率的增加,就5.2.6.1节中介绍的板上芯片系统而言,衬底的材料从FR4聚合物演变为绝缘金属基板(IMS或MCPCB)和DBC。与DBC衬底相比,IMS有一定优势,但与陶瓷相比优势并不明显。IMS的缺点是它的CTE高于大多数陶瓷,但另一方面,金属基的绝缘层为防热层,即使它的热导率因加入了高导热性的AlN、BN、SiC等无机微粒而有所升高。
4.设计
当了解了对LED紧凑性的期望后,限制其表面的扩张是显而易见的。为了减小热阻,芯片背面和发射面都制作得很薄,典型厚度为100μm,无论其材料是垂直LED的硅和锗还是横向LED的蓝宝石。在不久的将来,芯片衬底的厚度很有可能小于50μm甚至25μm。需补充说明的是,在散热优化中,相比于标准的横向LED芯片,硅和锗衬底的垂直LED芯片是非常好的选择。
就横向倒装芯片LED结构而言,其芯片的衬底在芯片热沉的反面,这种结构的散热能力似乎很有吸引力。然而,目前芯片的连接方法使用金凸点(Au Stud Bump),虽然金具有很高的热导率并且凸点间的空间用导热粘合剂填充,但这种方法仍限制了热传导交换表面的面积。由于“+”接触和“-”接触必须是电隔离的,所以必须使用导热且电隔离的粘合剂,即使其热导率比导热且导电的粘合剂低。为了保证互连及金属基座的电隔离而使用了内插件,这是另一个不利于散热的因素。无引脚载体结构似乎更适合于倒装芯片横向LED系统,它取代了目前使用的全界面焊接的金凸点,理论上可增强散热能力。但由于有效区与基座上的焊点距离较近,会引发热机械问题。至于LED芯片,DBC SMT器件的厚度将从现在标准的1mm减小至小于500μm。
照明系统内热传递的增强可用图5-12中的热传播概念来解释,无论是母板级集成器件或器件级芯片甚或板上芯片模块,此图都是适用的。第一条热通路将热以传导方式从芯片或LED器件(1)中消耗,芯片焊接或贴装于衬底(2)上,衬底由电绝缘材料制成,上面沉积了大交换表面面积的导热层(3a)。热传播发生于LED安装位置的前侧;如果电绝缘材料(2)是导热的,热传播也会发生于背面(3b)。此技术可用于氧化铝或铜DBC衬底中。
图5-12 传导及对流或辐射热传播示意图(见彩页)
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