图1-18b为垂直结构的LED晶片基本结构，垂直结构的GaN基晶片热通道相对于传统的正装晶片较短，而且采用高导热金属材料作为基板，使其具有非常高的热导能力。......
2023-06-15
宽带隙氮化物二极管结构及类型介绍
【摘要】：如图4-3所示，两种材料都必须覆盖全部可见光范围。本节仅涉及宽带隙氮化物，与基于磷化物的系统相比，它依赖于不同的结构。历史上，第一种氮化物基LED的结构类似于磷化物基LED。后来，尽管SiC具有令人瞩目的特性，但为了增强器件的性能，二极管的结构与生长于蓝宝石的二极管结构越来越相似。实际上，如前面解释的那样，目前的结构中没有衬底，目的是改善器件的性能。在详细介绍工艺流程前，将介绍几种类型的二极管结构。
文献[KRA 07]明确地给出了氮化物（Ga、Al、In-N）和磷化物（Al、Ga、In-P）LED结构的最新工艺进展。如图4-3所示，两种材料都必须覆盖全部可见光范围。
图4-3 大功率可见光LED 25℃时外量子效率的技术现状
（1）—InGaN TFFC LED，350mA （2）—InGaN VTF LED，1000mA （3）—采用图形化衬底的InGaN CC LED （4）—产品性能，AlGaInP TIP LED，Philip Lumileds Lighting Co.，350mA
注：V（λ）为发光的眼睛响应曲线，来自CIE。虚线起到导视作用。
本节仅涉及宽带隙氮化物，与基于磷化物的系统相比，它依赖于不同的结构。磷化物实际上生长于GaAs或GaP衬底，而氮化物生长于电绝缘和热绝缘的蓝宝石上。
美国CREE公司（www.cree.com）制造用于有源层生长的SiC衬底，这种衬底具有良好的导电性和导热性。历史上，第一种氮化物基LED的结构类似于磷化物基LED。例如，反向斜截棱锥的形状[EDM 04]使其能够利用衬底的透明性和优良的电导率及光导率。
后来，尽管SiC具有令人瞩目的特性，但为了增强器件的性能，二极管的结构与生长于蓝宝石的二极管结构越来越相似。实际上，如前面解释的那样，目前的结构中没有衬底，目的是改善器件的性能。在详细介绍工艺流程前，将介绍几种类型的二极管结构。
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