专利权，是指由专利在一定期限内依法产生的专有权利；或者说，是公民、法人或者其他组织对其发明创造在一定期限内依法享有的垄断权。在某些特殊情况下，专利权可简称为“专利”。但是，同样的发明创造在不同的法域可以分别被批准为专利。另一方面，除法律另有规定外，任何人未经专利权人许可，不得为生产经营目的实施其专利。......
2023-07-03
各向异性生长及其特点介绍
【摘要】：当横向生长与垂直生长相比占据主导地位时，晶粒发生聚结。当掩膜带平行于<11-20>时，用ELO生成的GaN横截面呈现为三角形，与生长条件无关。GaN的形态取决于不同层间的相对生长率。所以当通过增加温度或减小压力的方法减少ELO带的垂直生长时，增加横向生长是可行的。通过调节生长环境来改变GaN条纹几何结构的能力可被用于进一步改善薄膜的品质。这就是ELO 2S，一种基于两级GaN生长的技术[BEA 99]。图2-22 ELO GaN在<11-20>和<1-100>定向带上生长的变化图。
当横向生长与垂直生长相比占据主导地位时，晶粒发生聚结。ELO生长依赖于条纹相对于GaN底层晶体学方向的取向[HIR 02]。图2-22说明了由ELO生成的GaN层具有的形态学差异，取决于掩膜的方向。当掩膜带平行于<11-20>时，用ELO生成的GaN横截面呈现为三角形，与生长条件无关（见图2-22a）。由于{1-101}平面的生长慢于（0001）平面，所以晶粒难以聚结。当条纹沿着<1-100>平面时，横向生长在{11-22}和{11-20}晶体学平面附近发生，垂直生长发生于{0001}平面附近。GaN的形态取决于不同层间的相对生长率。当压力减小或温度升高时，GaN的形态由三角形变为矩形。矩形的边界由缓慢变化的晶体学平面确定。通过{11-20}的接合，聚结发生于介质层的上方。
所以当通过增加温度或减小压力的方法减少ELO带的垂直生长时，增加横向生长是可行的。在生长期间注入镁蒸汽的方法可获得同样的结果，这时能够在不改变压力或温度的情况下产生ELO层[BEA 98]。
通过调节生长环境来改变GaN条纹几何结构的能力可被用于进一步改善薄膜的品质。这就是ELO 2S，一种基于两级GaN生长的技术[BEA 99]。
图2-22 ELO GaN在<11-20>（a）和<1-100>（b）定向带上生长的变化图。 还给出了温度和压力对GaN形态的影响[HIR 02]
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2023-06-22
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2023-08-11
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