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2023-11-22
无锡微电子工程：中国电子工业的细胞壁
【摘要】：它是国家确定的重点建设工程，被称为中国电子工业头号工程。无锡微电子工程是我国建国以来投资最大、技术水平最高的集成电路项目。MOS电路总厂是工程建设的“重中之重”，是目前国内洁净级别最高的0.1微米10级洁净室。1994年6月29日，无锡微电子工程在中国华晶集团公司正式通过国家验收。历时11年的这项“头号工程”正式建成投产，标志着我国微电子工业跨上了超大规模集成电路工业化生产的新台阶。
太湖之滨、惠山脚下，新崛起一座微电子城——华晶电子集团公司所在地。它是国家确定的重点建设工程，被称为中国电子工业头号工程。
微电子就是使电子产品微型化，其核心是集成电路技术——利用半导体技术、激光微细加工技术等先进方法，将计算机的存储器或处理器印制在计算机芯片——一块只有指甲盖那么大的芯片上，上面集成了数以万计的晶体管。集成晶体管10万个以上，就是超大规模集成电路。
微电子技术在今日世界经济舞台上，发挥着无以伦比的作用。现代经济发展数据表明，每1元集成电路产品，可支撑10元电子工业产值的增长，而每10元电子工业产值的增长，可支撑100～300元国内生产总值的增长。
未来的国防实力在很大程度上取决于武器系统中微电子技术的水平。海湾战争的结局是“硅片战胜了钢铁”，有力地说明现代战争已从“钢铁的较量”转变为“速度、精确度和突袭性的较量”，即微电子技术的较量。
微电子技术是当代最先进的生产力，其核心集成电路产业的水平与规模已成为衡量一个国家经济发展、技术进步和国防实力的重要标志。可以肯定地说，谁把握了微电子技术，谁就把握了21世纪经济发展的主动权。
我国一直在密切关注集成电路这一产业。早在1956年，根据科学家的建议，周恩来总理主持制定的我国12年科技发展规划中已把集成电路研究纳入新技术研究的国家重点项目。1965年我国第一块数字集成电路在美国人设计完成世界上第一块集成电路7年之后问世，使得国际上刮目相看。
1983年6月，电子工业部决定利用已经具备的现代化设施和技术，抽调设在四川的电子部第24所的骨干力量到无锡建立分所。24分所乌无锡江南无线电器材厂联合，组成中国华晶电子集团公司，开始向微电子领域进军。
无锡微电子工程是我国建国以来投资最大、技术水平最高的集成电路项目。总投资10.43亿元，包括了三大部分：原双极电路生产线扩产；新建具有6个研究室的科研中心；新建加工5英寸硅片、2～3微米工艺技术水平的MOS集成电路生产线。
MOS电路总厂是工程建设的“重中之重”，是目前国内洁净级别最高的0.1微米10级洁净室。工厂主体部分因其高技术高投资而被称为“黄金堆成的厂房”。MOS集成电路大生产线于1993年10月投产，它的设计能力为月产4英寸、5英寸硅片12000片，年产芯片5000万只，封装成品3000万块。生产的MOS集成电路广泛应用于程控交换机、电话机、控制机、卫星通讯、移动电讯、机电一体化、汽车电子等投资类产品，以及电视、音响、录像机、激光唱机、钟表等消费类产品。这种大生产线生成的集成电路可供全国一半黑白电视机和1／3彩色电视机装配使用，对我国彩电生产国产化意义重大。
微电子基地的洁净度要求极高。尽管基地的自然环境很好，水质优良，空气洁净，但进入高级净化室的空气仍然要经过3次过滤，水也要多次净化，达到高纯度方可使用。管道是不锈钢做的，而且管内必须抛光。员工不允许带任何东西进入室内，连报纸都不允许带入，女工不能化妆，以免污染空气，影响产品质量。没有凳子，只能站着操作。在直径几英寸大的硅片上有许多小的集成电路图形，其中线条的宽度以及线条间的距离都要小于2微米。而1微米只有1根头发直径的1／80。在这里工作的员工，没有高度的敬业精神是不行的。
无锡微电子工程是我国引进技术、自主独资建设的成果。在建设中采用了先进的模块启动、模块验收和最终国家竣工验收的模式，建成一块即投入使用一块，充分发挥了投资效益。工程的科研部分已于1992年底建成，1993年为MOS电路生产线开发新品16个，1994年开发60个。双极电路扩产工程于1990年11月投产，使华晶公司的双极电路生产能力从2648万块增加到5000万块。MOS超大规模集成电路生产于1993年2月通过西门子技术转让合同对外验收，其代表产品的成品率均以较大幅度超过合同规定的指标。1994年6月29日，无锡微电子工程在中国华晶集团公司正式通过国家验收。历时11年的这项“头号工程”正式建成投产，标志着我国微电子工业跨上了超大规模集成电路工业化生产的新台阶。
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