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2023-11-17
DRC是设计规则检查(Design Rule Check)的简称,主要根据工艺厂商提供的设计规则检查文件,对设计的版图进行检查。其检查内容主要以版图层为主要目标,对相同版图层以及相邻版图层之间的关系以及尺寸进行规则检查。DRC的目的是保证版图满足流片厂家的设计规则。芯片只有满足厂家设计规则的版图才有可能成功制造,并且符合电路设计者的设计初衷。图4.10示出不满足流片厂家设计规则的要求,设计的版图与制造出的芯片的差异。
图4.10 不满足设计规则版图与芯片对比
图4.10为不满足设计规则,设计的版图与制造出芯片的差异。图中可以看出,左侧线条在左下角变窄,而变窄部分如不满足设计规则的要求,在芯片制造过程中就可能发生物理上的断路,造成芯片功能失效。所以在版图设计完成后必须采用流片厂家的设计规则进行检查。
图4.11为采用Mentor Calibre工具做DRC的基本流程图。如图4.11所示,采用Calibre对输入版图进行DRC,其输入主要包括两项,一个是设计者的版图数据(Layout),一般为GDSII格式,另外一个就是流片厂家提供的设计规则(Rule File)。其中Rule File中限制了版图设计的要求以及提供Calibre工具如何做DRC。Calibre做完DRC后输出处理结果,设计者可以通过一个查看器(Viewer)来看,并通过提示信息对版图中出现的错误进行修正,直到无DRC错误为止。
Calibre DRC是一个基于边缘(EDGE)的版图验证工具,其图形的所有运算都是基于边缘来进行的,这里的边缘还区分内边和外边,如图4.12所示。
Calibre DRC文件的常用指令主要包括内边检查(Internal)、外边检查(External)、尺寸检查(Size)、覆盖检查(Enclosure)等,下面分别介绍Internal、External和Enclosure三种功能。
内边检查(Internal)指令一般用于检查多边形的内间距,可以用来检查同一版图层的多边形内间距,也可以检查两个不同版图层的多边形之间的内间距,如图4.13所示。
图4.11 采用Mentor Calibre工具做DRC的基本流程图
图4.12 Mentor Calibre边缘示意图
在图4.13中,内边检查的是多边形内边的相对关系,需要注意的是图4.13左侧凹进去的相对两边不做检查,这是因为两边是外边缘的缘故。一般内边检查主要针对的是多边形或者矩形宽度的检查,例如金属最小宽度等。
图4.13 Calibre DRC内边检查示意图
外边检查(External)指令一般用于检查多边形外间距,可以用来检查同一版图层多边形的外间距,也可以检查两个不同版图层多边形的外间距,如图4.14所示。
在图4.14中,外边检查的是多边形外边的相对关系,图4.14对其左侧凹进去的部分上、下两边做检查。一般外边检查主要针对的是多边形或者矩形与其他图形距离的检查,例如同层金属、相同版图层允许的最小间距等。
图4.14 Calibre DRC外边检查示意图
覆盖检查(Enclosure)指令一般用于检查多边形交叠,可以检查两个不同版图层多边形之间的关系,如图4.15所示。
图4.15 Calibre DRC覆盖检查示意图
在图4.15中,覆盖检查用于检查被覆盖多边形外边与覆盖多边形内边的关系。一般覆盖检查是对多边形被其他图形覆盖,被覆盖图形的外边与覆盖图形内边的检查,例如有源区上多晶硅外延最小距离等。
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