首页 理论教育复合工艺——高纯度钛的新生产方式

复合工艺——高纯度钛的新生产方式

【摘要】:复合工艺是基于获得更高纯度钛而开发的,因为无论哪一种单一的精炼方法都有一定局限,所以将多种工艺组合起来形成复合工艺。但这些复合工艺中有个特点,即都把熔炼工艺考虑进去了,并且采用了最后一道工序。图3-46 区域熔炼原理图电子束熔炼-电子束区域熔炼工艺:目前,该工艺已成功地用在高纯钛生产中。西北有色金属研究院已成功而熟练地掌握了EB+EBFZM工艺,当原料杂质含量较高,特别是挥发性杂质含量较高时,常采用此法。

复合工艺是基于获得更高纯度钛而开发的,因为无论哪一种单一的精炼方法都有一定局限,所以将多种工艺组合起来形成复合工艺。但这些复合工艺中有个特点,即都把熔炼工艺考虑进去了,并且采用了最后一道工序(俗称重熔法)。一般可供组成复合工艺的重熔方法有真空电弧熔炼、等离子束熔炼、电子束熔炼、感应熔炼、重复熔炼,但一般比较常用的复合工艺有以下两种:

熔盐电解与电子束熔炼联合:日本下岛川等人为了发明一种用于制作半导体装置表面线路网的高纯钛,而创造了这种方法。他们对克罗尔法和碘法高纯钛进行研究后发现,每次电弧熔炼只能使O含量增加,而用电子束熔炼代替,在真空下则可使O含量降下来。因此,发明了将熔盐电解法制得的针状粗钛在1.3×10-2 Pa真空下,于1000℃或以上进行脱气,后在<5×10-3 Pa的真空下熔炼、铸锭,就可获得O2≤2×10-4,Fe、Ni、Cr≤2×10-5,Na、K≤2×10-7的适于LSI、ULSI、VLSI线路网用的高纯钛的方法。

978-7-111-45569-1-Chapter04-76.jpg

图3-46 区域熔炼原理图

电子束熔炼-电子束区域熔炼工艺:目前,该工艺已成功地用在高纯钛生产中。其主要工艺含下列2个步骤:电子束熔炼,使钛中间隙杂质和可蒸发的微量元素能有效地除去;而后用电子束区域熔炼进一步除杂。西北有色金属研究院已成功而熟练地掌握了EB+EBFZM工艺,当原料杂质含量较高,特别是挥发性杂质含量较高时,常采用此法。这样做有两个优点:充分利用EB炉快速有效地去除大量杂质,减轻EBFZM炉真空系统的负担,从而相应地提高EBFZM提纯效果;经EB炉提纯的料,进入EBFZM炉后,由于挥发性元素减少,有助于熔区稳定,相应提高棒直径的均匀性,提高成品率。