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优化光刻物镜评价函数的方法与应用

2023-06-20 理论教育版权反馈

【摘要】：先在ZEMAX镜头数据表中取三个视场，填写采用弥散圆型式的默认评价函数，并在其中增加如下操作，构成优化过程中的评价函数：{PMAG；Target，Weight}{PMAG；-0.25，100}{DIST；Target，Weight}{DIST；0，10}{DIMX；Target，Weight}{DIMX；0，10}{FCUR；Target，Weight}{FCUR（0；1）；0，10}{FCGT；Target，Weight}{FCGT；0，10}{FCGS；Target，Weight}{FCGS；0，10}在默认评价函数的第二视场中加入：{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}在第三视场中加入：{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}这个评价函数就是前面多次使用过的“新构造的评价函数”。

先在ZEMAX镜头数据表中取三个视场，填写

采用弥散圆型式的默认评价函数，并在其中增加如下操作，构成优化过程中的评价函数：

{PMAG（Wave）；Target，Weight}⇒{PMAG（1）；-0.25，100}

{DIST（Surf；Wave；Absolute）；Target，Weight}⇒{DIST（0；1；0）；0，10}

{DIMX（Field；Wave；Absolute）；Target，Weight}⇒{DIMX（2；1，0）；0，10}

{FCUR（Surf；Wave）；Target，Weight}⇒{FCUR（0；1）；0，10}

{FCGT（Wave；Hx，Hy）；Target，Weight}⇒{FCGT（1；0，1）；0，10}

{FCGS（Wave；Hx，Hy）；Target，Weight}⇒{FCGS（1；0，1）；0，10}

在默认评价函数的第二视场中加入：

{TRAC（Wave；Hx，Hy；Px，Py）；Target，Weight}⇒{TRAC（1；0，0.7；0，1）；0，1}

{TRAC（Wave；Hx，Hy；Px，Py）；Target，Weight}⇒{TRAC（1；0，0.7；0，-1）；0，1}

在第三视场中加入：

{TRAC（Wave；Hx，Hy；Px，Py）；Target，Weight}⇒{TRAC（1；0，1；0，1）；0，1}

{TRAC（Wave；Hx，Hy；Px，Py）；Target，Weight}⇒{TRAC（1；0，1；0，-1）；0，1}

这个评价函数就是前面多次使用过的“新构造的评价函数”。