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2023-11-18
选择原始基型ga和gb的介绍
【摘要】：1）根据设计要求可知，后半部ga的光学参数为：工作波长为0.248μm，物在无穷远，数值孔径是0.56，像高是0.46mm。表6-1 中倍平场显微物镜 这个原始结构要用到光刻物镜设计中还需做进一步的改造，需要调整光学参数，更换工作波长和材料，将光阑移到前边，用单片替代双胶合镜组，将物方焦点挤到物镜之前，必要时还要缩放焦距。若光刻物镜后半部光组的焦距fa′如1）取10mm，则光刻物镜前半部光组的焦距fb′是40mm。表6-2 低倍平场显微物镜
1）根据设计要求可知，后半部ga的光学参数为：工作波长为0.248μm，物在无穷远，数值孔径是0.56，像高是0.46mm。若暂不考虑工作波长的异同，显微物镜中不难找到与这些光学参数相近的现成结果。因物在无穷远，所以选用无穷大筒长的显微物镜；因为要消场曲，所以选用平场显微物镜。现取参考文献[17]中筒长无穷大的中倍平场显微物镜作为原始结构，它的光学参数是：在可见光波段工作，物在无穷远，数值孔径是0.4，像高是0.4mm，焦距为10mm。其结构参数见表6-1。
表6-1 中倍平场显微物镜 （l=∞，NA=0.4，y′=0.4mm，f′=10mm）
这个原始结构要用到光刻物镜设计中还需做进一步的改造，需要调整光学参数，更换工作波长和材料，将光阑移到前边，用单片替代双胶合镜组，将物方焦点挤到物镜之前，必要时还要缩放焦距。
2）根据设计要求可知，光刻物镜前半部gb的光学参数为：工作波长为0.248μm；将前半部gb按设计惯例放置（远“物”在左，近“像”在右），则其工作状态可以看作是“物”在无穷远，数值孔径是0.14，像高是1.84mm。若光刻物镜后半部光组的焦距fa′如1）取10mm，则光刻物镜前半部光组的焦距fb′是40mm。
如果暂不考虑工作波长的异同，则在失效专利和刊物中容易找到与这些光学参数相近的显微物镜数据。因物在无穷远，所以选用无穷大筒长的显微物镜；因为要消场曲，所以选用平场显微物镜。现取一个筒长无穷大的低倍平场显微物镜作为gb的原始结构。
低倍平场显微物镜的光学参数是：在可见光波段工作，物在无穷远，视场ω为2.5°，数值孔径是0.1，焦距为49.834mm。其结构参数见表6-2。
这个原始结构同样需要做进一步的改造才能用于新光刻物镜设计。改进的地方有调整光学参数，将孔径光阑移到前边，更换工作波长和材料，适当缩放焦距。
表6-2 低倍平场显微物镜 （l=∞，NA=0.1，ω=2.5°，f′=49.834mm）
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