首页 理论教育热迁移现象在未通电共晶锡铅焊料接头中的影响

热迁移现象在未通电共晶锡铅焊料接头中的影响

【摘要】:用于热迁移测试的共晶37Pb63Sn倒装芯片焊料接头的测试结构与图12.2很相似,其有11个凸点。而通电凸点附近的未通电的凸点将用来研究热迁移。图12.7所示为四个未通电的凸点在电迁移测试后的横截面SEM照片。图12.7四个未通电的凸点在电迁移测试后的横截面SEM照片图12.8所示为未通电凸点的横截面高倍照片,图中Sn和Pb的重新分配表现在:铅大量积累在了冷端(基板端),热端处(芯片端)没有锡积累。

用于热迁移测试的共晶37Pb63Sn倒装芯片焊料接头的测试结构与图12.2(a)很相似,其有11个凸点。通过溅射制备的芯片侧UBM层结构为:Al(约0.3μm)/Ni(V)(约0.3μm)/Cu(约0.7μm),而基板侧键合焊盘上的金属化层则通过电镀制备,其结构为:Ni(5μm)/Au(0.05μm)。凸点高度为90μm,芯片上的接触窗口直径为90μm。

在整个芯片上,只有一对凸点在100℃温度、0.95 A直流电下电迁移了27 h,接触窗口的平均电流密度为1.5×104 A/cm2。而通电凸点附近的未通电的凸点将用来研究热迁移。

图12.7所示为四个未通电的凸点在电迁移测试后的横截面SEM照片。图中较亮的部分是富铅相,相对暗淡的部分是富锡相。与试验前的试样相比,发现在未通电的凸点中富铅相移动到基板一侧(冷端),且如图12.7(c)所示,在这些位置处出现了一些液相结晶过程中常见的树枝状晶,这也就意味着在测试中凸点发生了部分融化。值得提到的是:熔融共晶相结晶后应具有共晶组织,因此这些树枝状晶表明在熔化前凸点就已经发生了相分离。

图12.7 四个未通电的凸点在电迁移测试后的横截面SEM照片

图12.8(a)所示为未通电凸点的横截面高倍照片,图中Sn和Pb的重新分配表现在:铅大量积累在了冷端(基板端),热端处(芯片端)没有锡积累。从图中还可以看出凸点中部的微观结构是均匀的(除富铅相区域),同时也发现原本共晶的层片结构间距变得更小了,这就意味着相分离发生后,界面的数量大大提高,导致整个组织处于高能态。回想前面所提到的当共晶组织(两相层片结构)在恒温下退火时,晶粒会长大粗化以减小表面能,如图2.23所示。由于界面处的原子排列是无序的,因此细间距层片结构的形成提升了系统的混乱度,即造成了更多的熵增。然而因为界面扩散比晶格扩散更快,故动力学上可认为更细间距的层片结构可使熵增速率更快。

图12.8(b)、(c)所示分别为电子探针扫描得到的成分分布曲线。线扫描路径为图12.8(a)中的1、2、3,每条线都是三次扫描的平均值,扫描步长为5μm。结果显示基板侧的铅浓度大约为73%,而芯片侧的锡浓度比例为70%~80%,且这些浓度的分布并不呈现线性浓度梯度分布。冷端处发生了铅的偏聚和锡的流失,而在远离冷端的凸点中间,除由于两相微观结构而导致的微小成分起伏外,锡和铅的分布是很均匀的。很明显,因为铅在冷端末端大量积累,故铅沿着温度梯度迁移,且是热迁移中的主要扩散元素,但浓度梯度却不是它迁移的驱动力。如果锡是主要扩散元素,那么凸点中铅的浓度应呈现线性上升分布,而不仅仅是堆积在冷端处。由于基板侧末端形成了Cu6Sn5金属间化合物,因此锡在冷端的浓度大于铅。