电迁移会加剧倒装芯片焊料接头两侧化学反应的相互作用。在阴极侧,电迁移将溶解UBM层和Cu-Sn金属间化合物中的Cu,同时将溶解的Cu原子输送到阳极,并在阳极处形成Cu-Sn金属间化合物。图4.4所示为电迁移前的照片,从中可观察到TiW、Cu3 Sn和高Pb焊料接头的基体。在无电流加载的热老化测试时发现,Cu3 Sn可以和高Pb焊料基体稳定存在。......
2023-06-20
Greer和他的同事发表了一篇关于电迁移对两种金属间化合物间竞争性生长的影响的论文[8],它类似于3.2.4节中所提到的两层金属间化合物间的竞争性增长。然而,在电迁移中应当考虑在阴极、阳极处的金属间化合物间跨越焊料接头的相互作用。10.3节和10.4节中阐述到:其相互作用加速了阳极处金属间化合物的形成,而延缓了阴极处金属间化合物的形成。发生相互作用是由于在焊料接头电迁移时,必会存在阴极和阳极。铜和镍在焊料内的固态扩散极快,一般来说,焊料中的电迁移发生在高的同源温度下。为充分理解伴随有阴、阳极间金属间化合物的相互作用时电迁移对金属间化合物竞争性生长的影响,就不能忽略阴极处金属间化合物向焊料的溶解,且必须考虑阳极处金属间化合物的析出。即使使用无限大的焊料块作为阳极,在没有沉淀的情况下,金属间化合物溶解也将是无限量的。
然而,基于器件的小型化趋势,焊料接头尺寸(即直径或厚度)将接近10μm,这样,整个焊料接头都会变为金属间化合物,因此,我们可能得到三层金属间化合物被夹在两个铜电极的结构,即Cu/Cu3Sn/Cu6 Sn5/Cu3 Sn/Cu。图10.9所示为在V形槽试样中制成的这种结构。在V形槽中,用10μm厚的共晶锡银铜焊料将两个铜线连接起来,然后在150℃温度、2×104 A/cm2电流密度条件下电迁移144 h。这样,焊料和两个铜电极间的界面反应已经将整个焊料变成三层金属间化合物结构。图10.9(a)和图10.9(b)分别所示为电迁移前后的SEM照片,图10.9(c)所示为通过电子探针测定的反应后的成分分布。图10.9(b)中的白线表示电子探针所扫描的组分位置。我们有可能可利用这样的试样探究清楚电迁移对三层金属间化合物间竞争性生长的影响。初步结果显示阴极处的Cu3Sn比阳极处的Cu3 Sn生长得更快,如图10.9(c)所示。
图10.9 在V形槽试样中制成的三层金属间化合物被夹在两个铜电极的结构
(a)电迁移前V形槽接头的SEM照片;(b)电迁移144 h后的SEM照片;(c)通过电子探针测定的反应后的成分分布
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电迁移会加剧倒装芯片焊料接头两侧化学反应的相互作用。在阴极侧,电迁移将溶解UBM层和Cu-Sn金属间化合物中的Cu,同时将溶解的Cu原子输送到阳极,并在阳极处形成Cu-Sn金属间化合物。图4.4所示为电迁移前的照片,从中可观察到TiW、Cu3 Sn和高Pb焊料接头的基体。在无电流加载的热老化测试时发现,Cu3 Sn可以和高Pb焊料基体稳定存在。......
2023-06-20
由于铜是金属间化合物生长过程中的主要扩散元素,电流可以增强铜在金属间化合物中的扩散。金属间化合物的这种生长行为只出现在局部区域中,且比它的溶解速率要小得多。阴极侧,化学作用力使金属间化合物生长,而电学作用力则使金属间化合物溶解,这两种作用力在整个电迁移过程中相互竞争。在上述两节中,我们讨论了电迁移对阳极和阴极处金属间化合物形成的极化效应。......
2023-06-20
如图10.6所示,三个试验温度下金属间化合物的生长有几个相同的特点。由试验结果可知,180℃时金属间化合物的生长速度要大于150℃时的速度,而在120℃时的生长速度总是最小的,这表明金属间化合物的生长速度随温度升高而增大。......
2023-06-20
图11.5剪切试验中倒装芯片试样的光学照片对电迁移对焊料接头剪切行为的影响进行研究,图11.5所示为倒装芯片键合到有机基板上的组件的光学照片,其中大的白色箭头为施加在芯片上推动芯片的力,并对芯片和电路板间的焊料接头产生剪切力。图11.6所示为第二组施加电迁移的试样断口俯视图的SEM照片。剪切试验中菊花链交替失效的现象表明电迁移通过阴极界面处的孔洞形成弱化了阴极界面,这与拉伸试验的结果类似。......
2023-06-20
图10.5所示为在温度180℃、电流密度3.2×104 A/cm2条件下分别通电0 h、10 h、21 h和87 h后得到的阳极与阴极区域的SEM照片,其结果显示了阳极和阴极处金属间化合物厚度的变化。为便于比较,我们将所得的图像并排摆放,阳极在左,阴极在右,并用箭头在SEM照片中标识出金属间化合物的厚度。在阴极处,金属间化合物的生长速度比阳极处要慢得多。因此在阴极处金属间化合物的厚度变化分析过程中,孔洞的形成使分析过程变得更加复杂。......
2023-06-20
金属间化合物却不存在这样的问题。在700℃以上的高温下,大多数金属间化合物会更硬,强度甚至会升高。可以说,在高温下方现出金属间化合物的英雄本色。金属间化合物具有这种特殊的性能,与其内部原子结构有关。金属间化合物的应用极大地促进了高新技术的进步与发展,促进了结构与元器件的微小型化、轻量化、集成化与智能化,促使新一代元器件的不断出现。......
2023-06-23
是假想电荷数,它所表示的是电子与扩散原子之间动量交换的力的等效效果;eE是电子风力,在良导体中通常它是直接力的十倍左右,在金属的电迁移现象中电子风力的作用要远大于直接力。所以,在电迁移现象中,被增强的原子扩散通量方向通常与电子漂移通量方向一致。换句话说,它将会体验到更大的电子散射作用,以及更大的电子风产生的力的作用,从而将其推向下一个平衡位置,即该原子扩散前空位所在位置。......
2023-06-20
铝薄膜互连线,需要至少在绝对温度达到1/2的熔点时开始产生电迁移现象。换句话讲,如果物质的浓度场是无源场的话,原子和空位的扩散通量将会均匀分布,则在互连线中也不会发生电迁移现象。如果在某个区域中,它们的分布是十分均匀的,则会有电迁移现象的发生,但并不会有电迁移所导致的损伤出现,其本质原因是其场量是无源的。在接下来的内容中,我们将接着分别讨论微观结构、溶质原子和应力对于焊点的电迁移现象的影响作用。......
2023-06-20
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