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电迁移引发的背应力在两相材料中的作用

【摘要】:我们将在铝互连的电迁移中所讨论的背应力原理应用在两相共存的混合物的电迁移中。在低于或高于临界应力时,扩散通量则不再相等且逆转反向。式描述了在背应力下电迁移所驱动的偏析现象。我们能够看到,在背应力作用所致通量均衡的情况下,偏析速率由扩散较慢的物质所决定。

我们将在铝互连的电迁移中所讨论的背应力原理应用在两相共存的混合物的电迁移中。阳极的原子积累和阴极的空位聚集导致了应力梯度的产生,它改变了通量,由于总通量的体积变化变为零,即有

将式(9.22)代入式(9.19)中,我们得到产生应力梯度的表达式:

由于背应力的影响,原本大的扩散通量变小,原来小的扩散通量反转方向,所以现在它们可以相互抵消对方。将式(9.23)代入式(9.22)中,我们可以得到

我们注意到上述的推导过程是独立于样本的有限长度的。

另外,对于一个给定长度Δx的样品,我们从式(9.23)中得到临界应力,当样品处于临界应力时就不会有电迁移损伤,因为两个相反的扩散通量是彼此相等的。在低于或高于临界应力时,扩散通量则不再相等且逆转反向。我们也可以这样理解上述等式:在给定电流密度大小的条件下,存在一个临界长度使两个通量大小相等且方向相反。在比临界长度更长或更短的长度下,扩散通量则不再相等并且其扩散方向发生改变。我们注意到,当两个扩散通量相等时,总是存在着电迁移现象,但是在相完全分离之前,没有电迁移导致的损伤。

式(9.24)描述了在背应力下电迁移所驱动的偏析现象。我们能够看到,在背应力作用所致通量均衡的情况下,偏析速率由扩散较慢的物质所决定。如果种类2的物质的扩散率远远小于种类1的物质,并且p1的比例不是太小,则我们有关系式:

此外,偏析的符号方向不是由扩散率的差值决定的,而是由(Z11-Z22)的比例的差值所确定的。例如,阴极铅的消耗和相应的锡的富集,并不一定意味着铅的扩散率比锡更大,而其物理意义为(ZPbPb>ZSnSn)。

体积分数的再分配是由连续性方程所决定的:

所以我们可以推导出:

我们稍后将讨论式(9.25)的随机性与在试验中所观察到的随机状态现象。