人们为了测定铝条带电迁移中的背应力已经付出了大量努力。电迁移测试是在260℃的温度下进行的。稳态下电阻增长速率δ/δt,和稳态下电迁移所引起的压应力梯度δσEM/δx,与电流密度的函数关系如图8.9所示。如果在铜的大马士革结构中,能够通过表面扩散机制引发电迁移,那么在结构体内,我们需要获得一个由表面扩散引发背应力的机理。......
2025-09-29
白锡(β-Sn)具有体心四方晶体结构,其晶格参数a=b=0.583 nm,c=0.318 nm。其电导率具有各向异性;a轴和b轴的电阻率是13.25μΩ·cm,c轴的电阻率是20.27μΩ·cm。Lloyd[37]的研究表明,在施加的电流密度为6.25×103 A/cm2,且温度为150℃下保温一天,由于电迁移的作用,白锡条带电压降上升了10%。白锡(Tm=232℃)中的电迁移现象是很令人感兴趣的,因为大多数无铅焊料是锡基的。而在器件的工作温度下,电迁移主要是由晶格扩散产生的。在其各向异性电导率的影响下,它的微结构可能发生明显变化。
图8.13(a)所示为电迁移测试前的锡条带,图8.13(b)所示为在电流密度为2×104 A/cm2、温度为100℃的条件下进行500 h电迁移测试后的锡条带在扫描电镜下的俯视图。其中,从位于下侧的图中可以看到电迁移后几个晶粒的转向。

图8.13 锡条带SEM照片(由台湾中央大学的高振宏教授提供)
(a)电迁移测试前的锡条带;(b)500 h电迁移测试后的锡条带
图8.14所示为一个白锡晶粒的截面示意。它具有体心四方晶体结构,并且我们假设其晶向的c轴同图中的x轴呈θ角度,其晶向的a轴在图中纸面所在平面内,并与x轴呈(90°-θ)角度,并且它的b轴垂直于图中纸面所在平面。所施加的电子的电流密度j,其方向沿着x轴从左到右。其电阻率在a轴与b轴方向上是相等的,并且小于c轴方向的电阻率。由于电阻率的各向异性,电场强度E可以写为在两个方向的分量,Ea与Ec,其方向分别沿a轴和c轴。电场沿a轴的分量为Ea=ρa ja,沿c轴的分量为Ec=ρc jc。其中,ja与jc分别为电流密度j沿着a轴和c轴的两个分量。
各向同性的材料,如铜或铝,在各个晶向上有相同的电阻率。因此,ρc jc应当与ρa ja的大小相同。这也意味着Ea=Ec,晶粒内的整体电场将与电流流动方向j相一致。然而,由于Ea与Ec在各向异性材料中不同,例如白锡晶粒内电场方向和电流方向之间会有一个夹角φ,如图8.14所示,这是各向异性导电材料的特有属性。在研究这个角度φ是如何影响电流与施加在晶粒上的电场力之间的相互作用的时候,利用解析法进行分析是很重要的[18]。
如图8.14所示,电流密度j沿着a轴和c轴的分量为

图8.14 白锡晶粒的截面示意

所以,沿着这两个方向产生的电场分量为

其合电场为 (https://www.chuimin.cn)
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为了估算角φ的大小,我们考虑总电场E在y轴上的分量Ea和Ec。从图8.14中得
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通过等式变换,我们可以得到

将式(8.36)中的E代入式(8.38),我们可以得到

将分子分母中的电流j约去,并利用等式2sinθcosθ=sin 2θ进行代换,最后式(8.39)变为

同理,如果我们考虑总电场E在x轴上的分量Ea和Ec,我们可以得到

根据电阻率及晶粒取向数据,由式(8.40)或式(8.41)可确定电场方向与所施加的电流密度方向之间夹角φ的大小。式(8.40)表明,当θ=0°和θ=90°时,φ=0°,或者,在这种情况下E将平行于j,这种情况将在稍后考虑。
由于电场的方向偏离电流密度的方向,所以源自该电场的力也将偏离电流流动方向。这样,这种偏离效应对力的作用有两种显著的影响及后果。其一,产生了一个力矩;其二,产生了与晶界或y轴方向平行的分力,如图8.14所示。可以看出,由施加在晶粒边界上的电子和原子之间的动量交换作用所产生的力,也与电流密度方向呈一定角度。这样就为所存在的一对方向完全相反的力提供了力矩。注意,这里的边界不一定全部为晶界,也可以是样品和基底之间的界面。
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