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倒装芯片焊接连接处的化学反应分析

【摘要】:在倒装芯片焊料接头中,虽然这两种反应分别发生在间隔约100μm的焊料接头两侧,但由于Cu及其他贵金属和近贵金属可在很短的时间内扩散穿过100μm厚的焊料接头,因此这两个反应之间并不是互相独立的。回流过程中,焊料处于熔融状态的时间约为30 s,因此对于焊料凸点两侧的Cu原子而言,它们有足够的时间通过扩散而到达对侧,并实际影响对侧的化学反应。

一般而言,Si芯片侧的Cu-Sn反应属于第3章所讨论的焊料与Cu薄膜反应的情况,而基板侧的Cu-Sn反应则属于第2章中讨论的焊料与块体Cu反应的情况。在倒装芯片焊料接头中,虽然这两种反应分别发生在间隔约100μm的焊料接头两侧,但由于Cu及其他贵金属和近贵金属(如Au和Ni)可在很短的时间内扩散穿过100μm厚的焊料接头,因此这两个反应之间并不是互相独立的。举例来说:假设熔融焊料中的原子扩散系数为10-5 cm2/s,则Cu原子扩散穿过焊料凸点只需10 s。回流过程中,焊料处于熔融状态的时间约为30 s,因此对于焊料凸点两侧的Cu原子而言,它们有足够的时间通过扩散而到达对侧,并实际影响对侧的化学反应。即使在固态条件下,贵金属和近贵金属原子在Sn和Pb中也会发生间隙扩散,室温下的原子扩散系数接近10-8 cm2/s,那么这些原子扩散穿过厚度100μm的焊料凸点也只需数个小时。然而,固态老化的可靠性测试是在150℃下持续1 000 h,由于在熔融态及固态下原子快速扩散,因此不能忽略焊料凸点两侧反应的相互影响,正如图1.13所示及3.8节中所讨论的三元金属间化合物(Cu,Ni)6 Sn5或(Ni,Cu)3Sn4的剥落增强现象。