首页 理论教育SnAgCu共晶钎料在Cu/Ni(V)/Al薄膜中的剥落现象优化探究

SnAgCu共晶钎料在Cu/Ni(V)/Al薄膜中的剥落现象优化探究

【摘要】:如图3.23所示,1次回流后,Cu层被反应消耗并转化为Cu6 Sn5,而Ni层则保持了最初状态。显然,在多次回流后,Cu/Ni/Al UBM层与共晶SnAgCu焊料间无法保持稳定。图3.22A l/Ni/Cu薄膜上经过1次、5次、10次和20次回流后的共晶SnAgCu焊料样品的横截面SEM背散射图像熔融的无铅焊料对Ni的溶解是不均匀的,且似乎是从Ni表面上的某些缺陷点上开始形成,随后横向扩散最终形成斑点。图3.24~分别为Al/Ni/Cu薄膜上的SnAgCu共晶焊料在260℃下退火5、10和20 min后的SEM背散射图像。

由于Cu/Ni(V)/Al凸点下金属化层与共晶SnPb之间十分稳定,故其应用场合已经扩展到无铅焊料中[16]。图3.22所示为Al/Ni(V)/Cu薄膜上经过1次(即刚刚完成键合)、5次、10次和20次回流后的SnAgCu共晶焊料样品的横截面SEM背散射图像。在经过这几次回流后,焊点中可发现两类金属间化合物,即Cu6 Sn5[也有(Cu,Ni)6Sn5]和Ag3 Sn。虽然焊料内部可能会存在一些大块的Cu6 Sn5,Cu6 Sn5仍主要存在于界面处。

如图3.23(a)所示,1次回流后,Cu层被反应消耗并转化为Cu6 Sn5,而Ni(V)层则保持了最初状态。在5次回流后,笋钉状金属间化合物的长宽比增加,其形态从圆形笋钉状转变成伸长形笋钉状或棒状。金属间化合物呈现割面状,且其中一些已经脱离了UBM层。由于UBM层中300 nm的Cu层在1次回流(也即刚刚完成键合)后已经被消耗,因此Cu6 Sn5金属间化合物的体积在之后的回流中本应不再增加。然而,图3.23(b)中的横截面SEM图像表明金属间化合物的体积确实随着回流次数的增加而增加,原因归结为Ni和Cu6 Sn5发生合金化转化,变为(Cu,Ni)6 Sn5相。EDX能谱分析亦证明了这种转化。在图3.23(b)的Ni(V)层中可看到白斑,能谱分析证实该白斑主要包含Sn和V。如图3.23(c)所示,当回流次数增加到10次,白斑几乎完全替代了Ni(V)层。在20次回流后,Ni(V)层消失,一层Sn将金属间化合物与Al层分隔开[图3.23(d)]。换言之,替代了原来的Ni(V)层的是Sn,而非Ni-Sn金属间化合物。一些棒状金属间化合物也从UBM层中分离,并剥落到焊料中。显然,在多次回流后,Cu/Ni(V)/Al UBM层与共晶SnAgCu焊料间无法保持稳定。

图3.22 A l/Ni(V)/Cu薄膜上经过1次(即刚刚完成键合)、5次、10次和20次回流后的共晶SnAgCu焊料样品的横截面SEM背散射图像

熔融的无铅焊料对Ni(V)的溶解是不均匀的,且似乎是从Ni(V)表面上的某些缺陷点上开始形成,随后横向扩散最终形成斑点。图3.24(a)~(c)分别为Al/Ni(V)/Cu薄膜上的SnAgCu共晶焊料在260℃下退火5、10和20 min后的SEM背散射图像。Ni(V)层的不均匀溶解和层中白斑的形成随着退火时间的增加而增加。